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特殊氣體服務(wù)
特殊氣體是指在一些工業(yè)場合出現(xiàn)的氣體，一般的將特殊氣體可以分為以下三類：第一類是不燃而且無毒的無機氣體，例如CO2、N2、惰性氣體等；第二類是易燃或有毒的無機氣體，例如H2、CO、NO、HCl、H2S、SO2、Cl2等；第三類是有機氣體（蒸汽），例如甲烷、乙醇。以上的三類氣體都屬于特殊氣體，用于探測這些氣體的探測器就稱之為特殊氣體探測器。
隨著半導(dǎo)體芯片、太陽能光伏、液晶面板產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，生產(chǎn)使用的特殊氣體種類不斷增加，氣體供應(yīng)系統(tǒng)愈發(fā)復(fù)雜。特殊氣體已經(jīng)成為工廠內(nèi)危險系數(shù)最高的因子，在這里我們根據(jù)特氣不同的物理、化學(xué)性質(zhì)進行了分類和討論，進而對特種氣體供應(yīng)系統(tǒng)的規(guī)劃、設(shè)計、設(shè)備選型及其安全管理進行了闡述，并且工廠內(nèi)有著重要作用的氣柜設(shè)計進行了探討。
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